开放平台
型号：FEI Scios
价值：4199580人民币
主要技术指标：
离子束技术
离子源种类：液态Ga离子源
分辨率：3.0nm @ 30kV
加速电压：0.5kV - 30 kV
束流强度：0.6pA - 65nA
与电子束交叉点工作距离：7.0 mm
自动光阑，15孔光阑条
电子束技术
肖特基场发射灯丝
稳定性：优于0.4%/10h
最佳分辨率：1.0nm@15kV；1.6nm@1kV
加速电压：350V－30KV (连续可调)
束流强度：1pA - 400nA
配置可加热式物镜光阑，自动光阑，具有自动烘烤自清洁功能
辅助气体注入系统
配置Pt沉积，可在离子束、电子束诱导下进行沉积和刻蚀
具备束流测量装置，保证对束流的实时监控
具备实时观察离子束加工的监控功能
纳米机械手
具有原位样品自动提出功能，用于制备好透射电镜样品后提出 (保证更高成功率更高效率的样品转移，精度可达50 nm)，控制软件集成在电镜软件中。
能谱仪
型号：Element
能量分辨率（Mn-Ka）：优于129 eV
主要用途：TEM样品制备；原子探针制备；电极修补；材料微纳米尺度加工；SEM的分析测试（形貌 、成分、晶体结构）。
设备预约： http://81.69.199.198:8080